Photovoltaik

Besonders hohe chemische Inertheit und Verträglichkeit der Bauteile

Die hohe chemische Inertheit und Verträglichkeit gegenüber Reinstsilizium prädestiniert Si3N4-Bauteile für den Einsatz in der Photovoltaik.

Dies beginnt bereits bei den ersten Herstellungsschritten, wie der Synthese und Handling von Chlorsilan- und Polysilanverbindungen. Die Siliziumnitridkeramik ermöglicht es, Rohrleitungen, Kugelhähnen und Reaktorauskleidungen kontaminations- und wartungsfrei zu gestalten.

Das in den folgenden Prozessschritten hergestellte Reinst-Silizium lässt sich anschließend mithilfe von Siliziumnitridkeramischen Förderschnecken dosieren und fördern oder über verschleißarme Kompaktierwalzen aus Siliziumnitrid zu Pellets formen.

Nach der abschließenden Verarbeitung des reinen Siliziums zu Wafern können diese mit keramischen Greifern bewegt oder mittels Probecards geprüft werden (Wafer-Handling)

Anwendungsbeispiele

  • Probecard

    für die Waferprüfung

  • Kompaktierwalze

    für die Herstellung von Pellets aus Reinstsilizium

  • Kompaktierwalze

    für die Herstellung von Pellets aus Reinstsilizium

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